博顿光电：科研攻关打破国外技术垄断

近日，第七届“创客广东”中小企业创新创业大赛智能制造专题赛圆满落幕，佛山市博顿光电科技有限公司（以下简称“佛山博顿光电”）“离子束超精密装备与工艺解决方案”项目经过多轮评比，凭借在新型离子源及离子束装备关键技术领域的高水平创新成果与显著的行业引领价值，从105个参赛项目中脱颖而出，荣获企业组一等奖。

佛山博顿光电依托2019年度落地南海区的人才团队项目，于2020年成立于南海狮山，是一家专业从事新型离子源及离子束装备关键技术研发、设计和制造的创新型高新技术企业。2021年佛山博顿光电实现离子束整机装备的产业化生产和市场化销售，2022年达到规上企业规模。

作为在国内离子束技术与装备产品领域处于第一梯队的高新技术企业，近年来，佛山博顿光电不断加大研发投入，坚持自主研发带动企业发展，在科技创新与成果产业化阶段成绩斐然。

佛山市博顿光电科技有限公司。

从0到1打破垄断

填补国内技术与产品空白

作为纳米薄膜沉积、 刻蚀、超高精度表面处理等工艺制程必备的关键装置和基础设备，离子源及离子束装备是当前中国典型的“卡脖子”技术与产品，其广泛应用于精密光学、LED、半导体与集成电路、航空航天、国防军工、光伏新能源等多个领域。

而人们的日常生活同样离不开离子束技术，以手机镜头为例，镜头内含有多个精密光学镜片，每个镜片都需要纳米级光学薄膜以实现成像、传感等功能，部分高端高性能的光学镜头更是需要具有镀制百余层的工艺和技术才能满足其对光学的要求，这些精密薄膜的镀制必须在高性能离子源和离子束整机装备的配合下才能实现，但由于以离子源为代表的高端核心部件长期受限于国外，导致我国在高端装备和工艺应用方面受制于人。

“高端离子源核心技术及离子束装备的技术突破与国产化，是从源头上解决我国半导体、精密光学、新型显示等战略行业发展瓶颈的关键。”佛山博顿光电负责人表示，目前企业自主研发的高能离子源系统和离子束微纳加工装备产品及工艺技术解决方案，已实现面向精密光学、光通信、军工航天、LED、光伏、半导体等行业领域的工艺应用，可满足不同行业的工艺需求，具有离子束辅助沉积、离子束溅射、离子束刻蚀、离子束抛光等高端微纳加工的工艺能力。

佛山博顿光电研发的离子束系列装备。

“当前，企业核心部件离子源已打破技术垄断，细分领域占据全国领先地位。此外，博顿光电的离子束装备是全自主研发，性能和功能全面对标国际一线厂家。”据佛山博顿光电负责人介绍，企业已掌握RF射频离子源等各类高端离子源设备产品关键核心技术，提供离子束薄膜沉积、刻蚀及表面处理等离子束微纳加工装备产品与解决方案，同时拥有成熟的纳米薄膜器件、光栅器件等纳米光电元器件的工艺方案开发与服务。
以离子源为例，国内传统离子源使用灯丝热阴极，存在工作时间短、污染性高、热辐射高、工作环境受限等方面问题。而博顿光电的高性能离子源采用中空阴极、射频中和器技术、精密特种电源技术、离子束流智能分配算法与自动控制技术等，使离子源的维护时间革命性突破到1000小时以上、热辐射低、无污染、支持多种工作气体环境、离子束流和能量稳定输出和灵活可调，解决了传统离子源的众多缺陷。
同时，产品基于公司自主开发的宽光谱薄膜实时监控系统、基于Arm芯片+实时Linux操作系统架构的工控系统、可实时和广泛采集工艺过程中的特定参数的工艺编辑系统等核心技术，实现核心部件-整机装备-器件工艺的软硬件一体化设计，有效解决传统离子束装备无法适应迅速变化工艺应用场景和日新月异技术发展，无法对标国外高端机型的问题。

打造专业团队，提升综合实力

专注离子束核心技术研发及应用

佛山博顿光电能成为行业“单打”冠军，在细分领域发展到行业前列，其中最重要的原因在于其始终专注于离子束核心技术的研发及产业化应用。

“通过高端离子源核心技术及离子束装备的国产化，解决国内在高端离子源及离子束设备领域‘用不上’和‘用不起’的行业困局，这是博顿光电一直以来的发展目标。”佛山博顿光电负责人表示，离子源技术涉及物理、机械、材料、数学、电子、电气、计算机等多个跨学科、跨行业领域，这对科研团队的组建提出了非常大的要求，而这也正是佛山博顿光电迅速走上发展“快车道”的秘诀所在。

落地佛山至今，佛山博顿光电共吸纳员工近百人人，其中研发人员占比达45%，培养了一支具有独立完成离子源核心部件、离子束装备、控制系统及工艺技术的开发、设计、检测、验证等能力的专业研发团队。凭借核心团队在离子束工艺与设备领域具备多年积累和实践经验，经过几年的持续深耕，佛山博顿光电已推出目前市面上品类最全的离子源产品线，完成了数百台套大批量供货，并得到全国多行业领域上百家客户的验证。

佛山博顿光电研发车间。

此外，佛山博顿光电以离子源核心部件为突破点，延伸到离子束装备和工艺解决方案全链条，打通“离子源—离子束装备—微纳加工解决方案”产业全链条。截止到2022年12月，围绕公司核心技术，佛山博顿光电申请核心知识产权百余件，其中发明专利61件，有效知识产权70余件，参与发布真空设备及表面处理领域关于离子源的第一个标准，并于2021年获批成立“广东省离子束装备工程技术研究中心”

“我们已建成洁净度万级的离子束镀膜工艺示范中心，配备完整的离子束装备产业化产线，综合配套能力和年产能居行业前列。”佛山博顿光电负责人还表示，基于自主开发的离子源和离子束装备产品，佛山博顿光电与中国科学院长春光学精密机械与物理研究所合资成立公司，针对新型高精度纳米光学薄膜与刻蚀器件方向的工艺应用解决方案进行研发和产业化。

佛山博顿光电离子束镀膜工艺示范中心。

佛山博顿光电除了不断加快自身生产经营、产品研发等方面的发展步伐，还十分注重自主创新能力、综合实力的增强，通过参与各类型的创新创业大赛，与全国各地的创新团队同台竞技，不断磨炼自身综合实力，并取得了优异成绩。2022年，佛山博顿光电荣获中国创新创业大赛成长企业组一等奖(佛山赛区、广东省赛区)、优秀企业奖(国赛)，入选2022年“科创中国”新锐企业榜等奖项；“高端离子源及离子束装备”亦入选2022年广东省名优高新技术产品。 

未来，佛山博顿光电将依托现有的技术储备，在技术研发和市场拓展方面持续投入，继续加强与产业上下游的沟通，推进全国产化高端离子束整机装备的市场化进程，构建融合产业上下游的“联合示范中心”，打造行业生态发展的新模式，助力南海、佛山制造业转型升级迈向新台阶。

提高人才团队服务水平激活人才创新创业活力

近年来，南海不断强化人才团队引培力度、优化科创团队服务，并围绕“南海科创二十条”，精准招引一批产业互补性强、关联度高、带动作用大的重点科技项目，实施“蓝海英才”计划，做好科创团队服务，打造陪伴式创新创业服务。目前南海共有各级人才团队315个，已培育超120家高新技术企业，各级团队企业已累计获得社会资金82亿元。

接下来，南海将持续优化创新团队政策体系，围绕产业链部署创新链、人才链，积极壮大科研产业“双栖人才”，推动产才融合；同时也将发挥育成孵化体系载体作用，积极打造“众创空间-科技企业孵化器-科技企业加速器” 一体化的创新团队孵化体系，加快团队企业发展壮大。

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来源：佛山新闻网、佛山博顿光电

编辑：李德文

审核：何锦婷、吕燕珊、赵亮晶

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